Fortrend POM-150R是一种自动化的SMIF POD开启器，旨在打开150mm单一和多个标线荚pods。吊顶盖后， 割台保留在豆荚表上，操作员可以安全地操纵。 POM专为桌面应用而设计，是一个全电动系统，用于快速安装和拆卸。可选的专利底物映射技术可防止基材处理操作期间的破损。具有操作互锁的标线突出传感器可防止POD关闭突出的底物。 POD传感器检测到SMIF POD的存在，并防止误认为设备和晶圆厂之间的气流。

功能和好处

亚第1级清洁度

支持半E111和E112符合150mm smif豆荚

所有电气系统，易于安装

底物突出传感器在操作过程中保护标线

专利待处理的捏合传感器，用于操作员和标线安全性

多个POD现在传感器消除了操作员错误

静态耗散透明面板

规格

重量：〜51磅。

尺寸：13.25“ WX 18.37” DX 27.50” H

周期时间：<10秒

MCBF：50,000个周期

MTTR：不到1小时

功率：最大1A，单相

50/60 Hz @ 115/240 VAC

选项：映射，RFID