特点:

应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)

洁净室应用

单、双臂机器人

180°手臂平行翻转功能(单翻转或双翻转)

多种末端执行器: 伯努利吸爪 ，边缘夹持

平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）

可桉需求进行定制