富创得晶圆传输设备专家
46年半导体行业经验
详情描述
特点:
应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)
洁净室应用
单、双臂机器人
180°手臂平行翻转功能(单翻转或双翻转)
多种末端执行器: 伯努利吸爪 ，边缘夹持
平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）
可桉需求进行定制
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特点:
应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)
洁净室应用
单、双臂机器人
180°手臂平行翻转功能(单翻转或双翻转)
多种末端执行器: 伯努利吸爪 ，边缘夹持
平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）
可桉需求进行定制
