Fortrend从1997年开始提供晶圆和reticle sorter

Fortrend晶圆sorter是一种经过现场验证的高通量、可靠的分选系统，在价格和性能上具有很强的竞争力

比一级(ISO-3)洁净

灵活的ID读取系统符合SEMI M12, M13,M1.15

单臂和双臂机器人的灵活配置

统一的sorter框架，支持200mm和300mm的应用程序，允许在200mm和300mm之间轻松转换(升级)，双端口，3端口和4端口配置

可选RFID/智能标签/条形码批次跟踪系统

可选200/300mm晶圆混合分选系统

可选电源中断UPS和Raid-5数据库保护

TUV公司认证S2/S8/S9/S22/CE(见证书)

300mm输送设备完全满足SEMI标准(包括但不限于E84/E47.1/F47)

产品参数

晶圆尺寸

Dia. 300 ± 0.2 mm, 厚度: 0.5-1.0mm

Carrier

SEMI 标准 300mm FOUP/FOSB

洁净度

Class-1(选项: ISO Class 1)

产量（通过双臂机器人）

>500 WPH (无 OCR 和Aligner)

>200 WPH (有 OCR 和Aligner)

末端执行器

Vacuum blade or edge gripper机器人重复精度

± 0.1mm

校准器重复精度

± 0.1mm

通讯

HSMS or SECS I / SECS II 信息

平均修复时间

< 2 小时

平均故障间隔时间

>4,000 小时

OS

Window 7 专业或兼容

Load ports 数量

2 Ports

3 Ports

4 Ports

2Ports + 2Ports(嵌入 stocker)