特点:

应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)

洁净室应用

ODM或OEM供应

单、双臂/多片型

快速精密运动机器人

Class 1 洁净度

多种末端执行器:伯努利吸爪 ，边缘夹持

平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）

可按需求进行定制