*小足迹可节省宝贵的建筑面积

国际标准化组织一级的清洁,积极的自我清洁空气流动设计。

*支持多个和单个小规模飞行器

在密封的小型环境中提起豆荚壳

*所有电气系统,配有外地可编程应用软件

四个可编程联锁信号

现有传感器

掩模绘图传感器

*凸出传感器

·人力厅兼容

·Meets SEMI E19.3, E111, E112, E117, S2 and S8 standards and CE certified

直接安装到工艺工具或手动装载端口适配器,以便将开放站转换为小型基础设施兼容站。

*可选择的版本,配有集成的rfid阅读器/编写器

规格:

网线尺寸

152毫米宽x152毫米深x6.35毫米高

尺寸

467Wx460Dx770H毫米

电梯冲程

210毫米

负荷能力

5.4kg

Pod类型

单RSP

多路RSP

POD接口

E19.3分

电力要求

100V/240VAC @ 1Amp 50/60Hz

Or 24 VDC (Option)

重量

23公斤无舱

开舱

<12秒

封闭舱

<10秒

Mbf

50000个周期

Mttr

&l;1小时

通讯

平行和/或串行的

通讯

EIA-RS232C(SECS I/II)

身份识别设备(可选)

Rfid模块或红外链接