特点

循环时间小于90秒，使产能提升

占地面积小，节省宝贵的车间地面空间

超薄末端执行器满足客户特殊要求

装载高度可调整，符合人体工学设计

微环境室和清洁的空气流动系统，保持设备维持在Class1 洁净度

易于集成

全自动的Fortrend Plus500 S可以在90秒或更短的时间内将200毫米的cassette从SMIFpod转移到加工工位。该系统还可用于将cassette装载到无SMIF环境中的加工工具中。

由于总占地面积并不比SMIF pod大多少，Plus 500 SX很容易与AGV系统集成并进入小区域。

带有末端执行器的可编程机械臂可以将晶圆倾斜到垂直位置，可容纳多种加工工具。

简易维护

所有Plus 500型号都有多种工具接口选择:带有快速释放锁扣的钻石针接口板和独立的地板支架，可以在15分钟或更短时间内与任何加工工具重新连接。考虑到在启动过程中，可能需要每天两次断开和重新连接pod装载器，以调整加工工具，因此该特性显著减少停机时间，并简化了预防性维护。

安全可靠

专业的内置微型环境和气流控制系统有助于保护晶圆不受污染，同时机器人在SMIF Pod和工具之间转移晶圆。

具有自动防故障装置的特性，包括Pod现有传感器，晶圆突出传感器，cassette过载传感器，恒定力矩直流步进电机(带有编码器反馈)精确和可靠的运动控制

产品参数

 Class 1 洁净度

<0.1 PWP @ 0.2 μm或更大尺寸粒子

< 90秒的周期时间

2000小时平均故障间隔时间

60x35x184cm

标准装载高度90cm，可调

总重量为93公斤(206磅)

115vAC标准(可选230v)单相

50/60Hz 5安培