标准特征

兼容 SEMI 300mm Foup Loadport标准E15.1、E47.1、E57、E62、E64、E83、E110、S2、S8

符合SEMI E63 BOLTS-M 和 E92 BOLTS光接口标准

Load port状态感知功能

Foup Present

Foup Placement

Foup Dock

Foup Door Present

Wafer Protrusion

Finger pinch sensor

Vacuum Pressure

模块化设计将降低调整、维护和停机的时间

RS232通信接口

Mapping功能

Class 1 洁净度

S2S8认证

可选设备:

Optical PIO sensor

Info Pad sensor

N2 puege interface

200mm adaptor

200mm wafer mapping200mm晶圆casstte RFID读写