特点:

最大垂直行程1200毫米(z行程)

应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)

多达3-step伸缩式应用

单、双臂机器人

ODM或OEM供应

单、双臂/多片型

Class 1 洁净度

多种末端执行器:真空吸爪，边缘夹持器

平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）

可按需求时进行定制