传输部分完全整合，简化设备设计成本Robot内关键模块均为富创得自主专利，生产均在富创得自有生产基地内进行。软硬件垂直整合，保证设备

的标准性与一致性。

多样化的客制选项，适用多种工况

可选的多样化的客制选项，自EFEM/SMIF到真空腔与真空机器人均有多种客制化选择，满足各种工艺方式

与实际工况的需求。

针对性的设备布局与设计，便于工艺设备的流转

可提供标准型对接设备，也可根据实际工艺进行布局调整，以便满足设备的工艺要求与整厂的物料流转。