zmbandaoti
当前位置:
•完整的工作台允许操作的mask 为3轴
•强光灯
•可编程检查例程
•手动控制mask方向。
•操作人员视图区域建在工具的一侧,在明亮的灯光下局部控制操作光罩片。
•可选配安装于工位上方的摄像头,通过高清屏幕捕捉,记录光罩片和薄膜状态
•可选的高清晰度实时视频可看到mask表面。
VTM真空传输系统/半导体真空腔体/真空传输平台/富创得半导体真空机械手/真空搬运机器人
PLUS 500 S
夹持式机器人 Standard ASR(Arm Scara Robot)
PLUS 500 C
Casstte AGV
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