富创得晶圆传输设备专家
44年半导体行业经验
服务热线
详情描述
- 占地面积小，节省宝贵的厂房面积
- 1级洁净，主动自洁气流设计。
- 将晶圆盒置于密封的迷你环境中
- 所有电气系统均配有现场可编程应用软件
- 四个可编程联锁信号
- 晶片盒电流传感器
- Pod传感器
- 晶圆映射传感器(现有，交叉槽)
- 符合SEMI E19.4, S2和S8标准，并通过CE认证
- 直接安装到加工工具或手动装载端口适配器(300毫米螺栓接口到SEMI E63)转换open station到SMIF兼容。
- 可选的RFID阅读器/写入器
- 可选的红外读/写
