•灵活的布局，可定制化设计

• 人车分离，适合各种运输工具对接

• 符合SEMI标准取放高度及通讯协议

• 独有的存储柜与存储柜间传输设计

• 高速载入载出及安全防护装置

• 维修门和维修梯安全设计

• 可选整合Embedded Sorter的设计

• 可选FFU封顶设计

• 可选晶圆盒充氮气设计

• 具备216个FOUP存储工位，包含6个移动货架存储工位；

• 具备至少1个FOUP手动出口和1个FOUP手动入口，且出入口可读取RFID标签和状态指示灯；

• FOUP手动出入口具有自动门，可手动或自动控制；

• FOUP搬运机械手臂具有在位侦测和FOUP硬限位保护功能，且机械手臂可自动复位；

• 避免机械手臂上FOUP与bin或者port上的FOUP碰撞功能；

• 移动货架出入口具有自动门，可手动或自动控制；

• 维修门具有interlock装置，防止误开造成伤害；

• 具有监控功能，可远程监控STOCKER内部运行状况。